Quais são os fatores que impactam a resolução de um microscópio eletrônico de transmissão?
A. Diâmetro do ponto do feixe de elétrons incidente: o limite do poder de resolução do SEM. Geralmente, o diâmetro mínimo do ponto do canhão de elétrons de cátodo quente pode ser reduzido para 6 nm, e o canhão de elétrons de emissão de campo pode tornar o diâmetro do ponto menor que 3 nm.
B. Efeito de expansão do feixe de elétrons incidente na amostra: o grau de difusão depende da energia do elétron do feixe incidente e do número atômico da amostra. Quanto maior a energia do feixe incidente e menor o número atômico da amostra, quanto maior o volume do feixe de elétrons, maior será a área do sinal gerado com a difusão do feixe de elétrons, reduzindo assim a resolução.
C. método de imagem e sinal de modulação utilizado: quando o sinal de modulação eletrônica secundária, devido à sua baixa energia (menos de 50 eV), o alcance livre médio é curto (10 ~ 100 nm ou mais), apenas na camada superficial de a faixa de profundidade de 50 ~ 100 nm dos elétrons secundários pode escapar da superfície da amostra, a ocorrência do número de espalhamento é muito limitada, basicamente não se expandiu lateralmente, então a resolução da imagem do elétron secundário é aproximadamente igual ao feixe diâmetro do ponto. Quando os elétrons retroespalhados são usados como sinal de modulação, os elétrons retroespalhados podem escapar da região mais profunda da amostra (cerca de 30% da profundidade efetiva) devido à sua alta energia e capacidade de penetração. Nesta faixa de profundidade, os elétrons incidentes tiveram uma expansão lateral bastante ampla, de modo que a resolução da imagem do elétron retroespalhado é menor do que a imagem do elétron secundário, geralmente na faixa de 500 ~ 2000nm ou mais. Se a absorção de elétrons, raios X, catodoluminescência, condutância de detecção de feixe ou potencial como sinal de modulação de outros modos de operação, devido ao sinal de toda a região de espalhamento do feixe de elétrons, a imagem de varredura resultante da resolução é relativamente baixa, geralmente em l, 000 nm ou l.000 nm ou mais que variam.
