Nome e função de cada parte do microscópio confocal
Com base no princípio da tecnologia confocal, o microscópio confocal é usado para medir a superfície de vários dispositivos e materiais de precisão em nível micro e nano, e pode gerar imagens diretamente da morfologia da superfície de amostras de materiais, com uma resolução lateral de até 1 nm. e uma resolução do eixo Z de até 0,5 nm. Ele pode não apenas medir a morfologia da superfície da amostra e fornecer a função de caracterizar a morfologia microscópica da medição do tamanho do perfil, mas também fornecer cinco funções analíticas principais, como análise de rugosidade, análise de perfil geométrico, análise estrutural, análise de frequência e funcional análise. Análise de rugosidade, análise de perfil geométrico, análise estrutural, análise de frequência e análise funcional também são fornecidas.
A análise de rugosidade inclui análise de parâmetros completos de acordo com rugosidade de linha ISO4287, rugosidade de superfície ISO25178, planicidade ISO12781, etc.; a análise de contorno geométrico inclui medidas de altura do degrau, distância, ângulo, curvatura e outras características e avaliação de retilineidade, circularidade e tolerância de forma; a análise estrutural inclui o volume dos furos e a profundidade da calha, etc.; a análise de frequência inclui a direção do grão e a análise do espectro; a análise funcional inclui a análise de direção e espectro de frequência; a análise de frequência inclui a análise de direção e espectro de frequência; e análise funcional também está disponível. A análise de frequência inclui direção de textura e análise de espectro; A análise funcional inclui parâmetros SK e parâmetros de volume.
A estrutura do microscópio confocal consiste principalmente em: microscópio, fonte de luz laser, dispositivo de digitalização, detector, sistema de computador (incluindo aquisição de dados, processamento, conversão, software aplicativo), dispositivo de saída de imagem, dispositivo óptico e sistema confocal.
Em cerâmica, metais, semicondutores, chips e outros campos de ciência de materiais e inspeção de produção, o microscópio confocal tem uma ampla gama de aplicações. Microscópio confocal baseado no princípio da microscopia confocal, digitalização sem contato da superfície do dispositivo e o estabelecimento da imagem 3D da superfície, através do software do sistema no processamento e análise de dados de imagem 3D da superfície do dispositivo, de modo a obter o 2D, 3D parâmetros que refletem a qualidade da superfície do dispositivo, para alcançar a medição 3D da morfologia da superfície do dispositivo.
Pode ser amplamente utilizado na fabricação de semicondutores e inspeção de processos de embalagem, tela de vidro eletrônico 3C e suas peças de precisão, processamento óptico, fabricação de micro-nano-materiais, peças automotivas, dispositivos MEMS e outras indústrias de usinagem de ultra-precisão e aeroespacial, institutos de pesquisa científica e outros campos. Meça e analise o perfil da superfície, defeitos de superfície, desgaste, corrosão, planicidade, rugosidade, ondulação, folga de poros, altura do degrau, deformação por flexão, processamento e outras características de superfície de vários produtos, componentes e superfícies de materiais.
