Sistema de imagem de microscópio eletrônico
1. Lente objetiva e estigmador
A lente objetiva é a primeira lente de imagem do sistema de imagem. O desempenho de um microscópio eletrônico é determinado principalmente pelas características ópticas da lente objetiva. Quaisquer imperfeições na lente objetiva serão ampliadas por outras lentes no sistema de imagem. Portanto, a aberração da lente objetiva deve ser a menor possível e a ampliação é alta o suficiente, e a lente objetiva com forte excitação, distância focal curta (1,5-3mm) e diafragma da lente objetiva são geralmente usado para reduzir a aberração esférica. Como a abertura óptica é muito pequena, a resolução da lente objetiva será reduzida devido ao efeito de difração e a interferência do feixe de elétrons será forte devido ao efeito de poluição da borda óptica, portanto, a abertura óptica não pode ser muito pequena .
O estigmatizador é uma parte importante para garantir que a resolução da lente objetiva seja melhorada. Ele usa um campo magnético com força e orientação ajustáveis para corrigir o astigmatismo axial causado pela lente objetiva não axissimétrica.
O estigmatizador eletromagnético comumente usado é composto por dois grupos de quatro pares de eletroímãs instalados uniformemente ao redor do espaço entre as peças polares. Os dois campos magnéticos de correção elíptica formados são perpendiculares um ao outro e, alterando a intensidade de excitação e a direção do campo magnético dos dois conjuntos de eletromagnetismo, um campo magnético de correção não rotacionalmente simétrico pode ser formado. Se sua força for igual ao campo de astigmatismo da lente e as direções forem perpendiculares entre si, pode eliminar o astigmatismo.
2. Espelho intermediário e espelho de projeção
O espelho intermediário é uma lente magnética fraca com distância focal longa e ampliação variável. O orifício interno da peça polar é maior e a ampliação está entre 0-20. Quando a ampliação é maior que 1, é utilizada para ampliar o espelho da objetiva; quando a ampliação é menor que 1, é usado para reduzir o espelho objetivo.
O espelho de projeção é uma lente magnética forte de distância focal curta, usando sapatas polares de pequena abertura simétricas para cima e para baixo - para obter uma grande ampliação. O espelho de projeção possui uma certa corrente de excitação, que desempenha o papel de ampliar a imagem do meio e projetá-la na tela fluorescente.
3. Amplificação em três estágios
A maior ampliação de um microscópio eletrônico é determinada por fatores como o desempenho do instrumento, a resolução da placa de base fotográfica (ou tela fluorescente), etc. De um modo geral, o sistema de imagem de ampliação secundária pode obter uma imagem eletrônica ampliada em cerca de 200,000 vezes. A lente objetiva amplia os detalhes da amostra em 100 vezes e forma a imagem no espelho objetivo, enquanto o espelho intermediário amplia a imagem da lente objetiva em 20 vezes e a projeta no espelho de projeção; o espelho de projeção amplia a imagem do espelho intermediário em 100 vezes e forma a imagem na tela fluorescente. O ajuste do número de monges amplificados pode ser realizado alterando a corrente de excitação do inserto intermediário. Depois que a corrente de excitação da cidade do meio é alterada, a corrente de excitação da lente objetiva também deve ser alterada adequadamente para garantir que o plano do espelho da lente objetiva seja misturado com a superfície de montagem do meio, de modo a obter uma imagem clara do ponto focal.
No sistema de imagem de três estágios, se a corrente de excitação do objeto for alterada, a imagem da lente objetiva pode ser feita sob a montagem do meio.
O espelho de objeto é um "objeto virtual", que é formado em uma pequena imagem real na superfície do objeto A do espelho de projeção. A imagem do espelho de projeção é gerada na tela fluorescente, de modo que uma imagem eletrônica ampliada de milhares a dezenas de milhares de vezes pode ser obtida. A distorção da imagem produzida por este método pode ser reduzida pela compensação mútua da distorção de barril do espelho intermediário e da distorção de almofada do espelho de projeção.
Se a lente objetiva estiver fechada e o espelho intermediário for usado em vez da cidade do objeto para geração de imagens, a ampliação pode ser reduzida para cerca de 100-300 mais, e imagens com um campo de visão maior podem ser obtidas.
