Vantagens da Microscopia Eletrônica de Varredura
1. Ampliação
Como o tamanho da tela fluorescente do microscópio eletrônico de varredura é fixo, a alteração da ampliação é realizada alterando a amplitude de varredura do feixe de elétrons na superfície da amostra.
Se a corrente da bobina de varredura for reduzida, a faixa de varredura do feixe de elétrons na amostra será reduzida e a ampliação será aumentada. O ajuste é muito conveniente e pode ser ajustado continuamente de 20 a cerca de 200,000 vezes.
2. Resolução
A resolução é o principal índice de desempenho do SEM.
A resolução é determinada pelo diâmetro do feixe de elétrons incidente e pelo tipo de sinal de modulação:
Quanto menor o diâmetro do feixe de elétrons, maior a resolução.
Diferentes sinais físicos usados para geração de imagens têm diferentes resoluções.
Por exemplo, os elétrons SE e BE têm faixas de emissão diferentes na superfície da amostra e suas resoluções são diferentes. Geralmente, a resolução de SE é de cerca de 5-10 nm, e a de BE é de cerca de 50-200 nm.
3. Profundidade de Campo
Refere-se a uma gama de capacidades que uma lente pode simultaneamente focar e criar imagens em várias partes de uma amostra com irregularidade.
A lente final do microscópio eletrônico de varredura adota um pequeno ângulo de abertura e uma longa distância focal, de modo que uma grande profundidade de campo pode ser obtida, que é 100-500 vezes maior que a de um microscópio óptico geral e 10 vezes maior que a de um microscópio eletrônico de transmissão.
Grande profundidade de campo, forte senso tridimensional e forma realista são as características marcantes do SEM.
As amostras para SEM são divididas em duas categorias:
1 é uma amostra com boa condutividade, que geralmente pode manter sua forma original e pode ser observada em um microscópio eletrônico sem ou com um pouco de limpeza;
2. Amostras não condutivas, ou amostras que perdem água, liberam gases, encolhem e deformam no vácuo, precisam ser tratadas adequadamente antes que possam ser observadas.
