Quais são os fatores que afetam a resolução da microscopia eletrônica de transmissão?
A. Diâmetro do ponto do feixe de elétrons incidente: é o limite do poder de resolução do microscópio eletrônico de varredura. Geralmente, o diâmetro mínimo do ponto do feixe do canhão de elétrons de cátodo quente pode ser reduzido para 6 nm, e o canhão de elétrons de emissão de campo pode tornar o diâmetro do ponto do feixe menor que 3 nm.
B. Efeito de expansão do feixe de elétrons incidente na amostra: o grau de difusão depende da energia dos elétrons do feixe incidente e do número atômico da amostra. Quanto maior a energia do feixe incidente, menor o número atômico da amostra, maior o volume do feixe de elétrons, e a área onde o sinal é gerado aumenta com a difusão do feixe de elétrons, reduzindo assim a resolução.
C. Método de imagem e sinal de modulação usado: quando o elétron secundário é usado como sinal de modulação, devido à sua baixa energia (inferior a 50 eV) e caminho livre médio curto (cerca de 10-100 nm), apenas a camada superficial de 50-100 nm Os elétrons secundários na faixa de profundidade só podem escapar da superfície da amostra, e o número de espalhamento ocorre é muito limitado e basicamente não se expande lateralmente. Portanto, a resolução da imagem do elétron secundário é aproximadamente igual ao diâmetro do ponto do feixe. Quando os elétrons retroespalhados são usados como sinal de modulação, a energia dos elétrons retroespalhados é relativamente alta e a capacidade de penetração é forte, então eles podem escapar de uma área mais profunda da amostra (cerca de 30% da profundidade efetiva). Nesta faixa de profundidade, os elétrons incidentes têm uma expansão lateral bastante ampla, de modo que a resolução da imagem do elétron retroespalhado é menor do que a da imagem do elétron secundário, geralmente em torno de 500-2000nm. Se outros modos de operação, como absorção de elétrons, raios X, catodofluorescência, condutância induzida por feixe ou potencial, forem usados como sinais de modulação, uma vez que os sinais vêm de toda a área de dispersão do feixe de elétrons, a resolução das imagens de varredura obtidas é relativamente baixa , geralmente em l 000 nm Ou acima de l0000 nm.
