Método de Planicidade de Medição a Laser
Planicidade é uma das tolerâncias geométricas, que se refere ao desvio da altura macro-côncavo-convexa na superfície do objeto do plano ideal. Nos métodos de detecção tradicionais, a medição de planicidade geralmente inclui: método de medição de medidor de plugue/calibre apalpador, método de nível de líquido, método de medição de interferômetro de plano a laser (método de interferometria de cristal plano), medidor de nível/método de medição de nível digital e lei de medição de medidor.
O método de medição do calibrador de lâminas precisa apenas de um conjunto de calibradores de lâminas portáteis para realizar uma medição aproximada de planicidade a qualquer hora e em qualquer lugar. Atualmente, muitas fábricas ainda usam esse método de detecção. Devido à sua baixa precisão, o calibrador convencional é de 10um, a eficiência de detecção é baixa, o resultado não é abrangente o suficiente e apenas a borda da peça pode ser detectada.
O método de nível de líquido, baseado no princípio de funcionamento do conector, é adequado para medir o nivelamento de planos grandes contínuos ou descontínuos, mas leva muito tempo para medir e é sensível à temperatura, portanto, é adequado apenas para planos com baixo precisão de medição.
Método de medição do interferômetro de plano a laser, o uso mais comum é a interferometria de cristal plano. Mas é usado principalmente para a medição de pequenos planos lisos, como a superfície de medição do micrômetro, a superfície de trabalho do medidor e a lente óptica.
O método de medição de nível é amplamente utilizado na medição de retidão e planicidade da superfície da peça de trabalho. Alta precisão de medição, boa estabilidade, tamanho pequeno, fácil de transportar. No entanto, ao usar este método para medir, é necessário mover repetidamente a posição do instrumento e registrar os dados de cada ponto de medição, o que é demorado, trabalhoso, longo tempo de ajuste e o procedimento de processamento de dados é complicado.
A aplicação típica do método de medição do medidor é um micrômetro plano e um instrumento de três coordenadas, entre os quais o instrumento de três coordenadas é o mais amplamente utilizado. Durante a medição, o indicador se move na amostra a ser testada e os dados de cada ponto de medição em relação à referência de medição são medidos de acordo com os pontos de layout selecionados e, em seguida, o erro de planicidade é avaliado por meio do processamento de dados. Mas sua eficiência é baixa, geralmente uma amostra demora vários minutos, longe da expectativa de 15ppm.
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O método de nivelamento de medição a laser tem alta eficiência de medição e alta precisão, e leva apenas 1-3 segundos para detectar um, e 100 por cento de inspeção completa pode ser realizada.
