Introdução às características de desempenho de microscópios eletrônicos de varredura

Introdução às características de desempenho de microscópios eletrônicos de varredura

Introdução às características de desempenho de microscópios eletrônicos de varredura
Existem vários tipos de microscópios eletrônicos de varredura, e diferentes tipos de microscópios eletrônicos de varredura apresentam diferenças de desempenho. De acordo com o tipo de canhão de elétrons, ele pode ser dividido em três tipos: canhão de elétrons de emissão de campo, canhão de fio de tungstênio e hexaboreto de lantânio [5]. Entre eles, os microscópios eletrônicos de varredura por emissão de campo podem ser divididos em microscópios eletrônicos de varredura por emissão de campo frio e microscópios eletrônicos de varredura por emissão de campo quente, de acordo com o desempenho da fonte de luz. A microscopia eletrônica de varredura por emissão de campo frio tem altos requisitos para condições de vácuo, corrente de feixe instável, vida útil curta do emissor e necessidade de limpar a ponta regularmente. Está limitado à observação de uma única imagem e tem um alcance de aplicação limitado; enquanto a microscopia eletrônica de varredura por emissão de campo térmico não apenas continuamente. Tem um longo tempo de trabalho e pode ser usada com uma variedade de acessórios para obter análises abrangentes. No campo da geologia, não precisamos apenas realizar observações morfológicas preliminares das amostras, mas também combinar analisadores para analisar outras propriedades das amostras, de modo que a microscopia eletrônica de varredura por emissão de campo térmico é mais amplamente utilizada.

O microscópio eletrônico de varredura (MEV) é um instrumento de precisão em larga escala usado para análise morfológica de microrregiões de alta resolução. Possui as características de grande profundidade de campo, alta resolução, imagem intuitiva, forte sentido tridimensional, ampla faixa de ampliação e a amostra a ser testada pode ser girada e inclinada no espaço tridimensional. Além disso, tem as vantagens de tipos ricos de amostras mensuráveis, quase nenhum dano ou contaminação da amostra original, e a capacidade de obter informações de morfologia, estrutura, composição e cristalografia ao mesmo tempo. Atualmente, os microscópios eletrônicos de varredura têm sido amplamente utilizados em pesquisas microscópicas nas áreas de ciências da vida, física, química, justiça, ciências da terra, ciência dos materiais e produção industrial. Somente nas ciências da terra, inclui cristalografia, mineralogia e depósitos minerais. , sedimentologia, geoquímica, gemologia, micropaleontologia, geologia astronômica, geologia de petróleo e gás, geologia de engenharia e geologia estrutural, etc.

Embora a microscopia eletrônica de varredura seja uma estrela em ascensão na família dos microscópios, ela está se desenvolvendo rapidamente devido às suas muitas vantagens.

1. A resolução do instrumento é alta. Pode observar detalhes de cerca de 6nm na superfície da amostra através da imagem do elétron secundário. Usando o canhão de elétrons LaB6, ele pode ser melhorado para 3 nm.

2 A ampliação do instrumento possui uma ampla gama de alterações e pode ser ajustada continuamente. Portanto, você pode escolher diferentes tamanhos de campos de visão para observação de acordo com suas necessidades. Ao mesmo tempo, você também pode obter imagens nítidas de alto brilho e alta ampliação que são difíceis de obter com microscópios eletrônicos de transmissão geral.

3. A profundidade de campo para observação da amostra é grande, o campo de visão é grande e a imagem está cheia de tridimensionalidade. A superfície áspera com grandes flutuações e a imagem irregular da fratura metálica da amostra podem ser observadas diretamente, dando às pessoas a sensação de visitar pessoalmente o mundo microscópico.

4. A preparação da amostra é simples. Desde que a amostra em bloco ou pó seja ligeiramente processada ou não processada, ela pode ser colocada diretamente no microscópio eletrônico de varredura para observação, ficando mais próxima do estado natural da matéria.

5. A qualidade da imagem pode ser efetivamente controlada e melhorada por meio de métodos eletrônicos, como manutenção automática de brilho e contraste, correção do ângulo de inclinação da amostra, rotação da imagem ou melhoria da tolerância ao contraste da imagem por meio da modulação Y, bem como o brilho e a escuridão de cada parte da imagem. Moderado. Usando um dispositivo de dupla ampliação ou seletor de imagens, imagens com diferentes ampliações podem ser observadas na tela fluorescente ao mesmo tempo.

6 Uma análise abrangente pode ser realizada. Equipado com um espectrômetro de raios X dispersivo de comprimento de onda (WDX) ou espectrômetro de raios X dispersivo de energia (EDX), tem a função de uma sonda eletrônica e também pode detectar elétrons refletidos, raios X, fluorescência catódica, elétrons de transmissão e Auger emitida pela amostra. Eletrônica, etc. A aplicação expandida da microscopia eletrônica de varredura a vários métodos de análise microscópica e de microárea mostra a versatilidade da microscopia eletrônica de varredura. Além disso, você também pode analisar microáreas selecionadas da amostra enquanto observa a imagem morfológica; instalando o acessório porta-amostras semicondutores, você pode observar diretamente a junção PN e defeitos microscópicos no transistor ou circuito integrado através do amplificador de imagem de força eletromotriz. Como muitas sondas eletrônicas de microscópio eletrônico de varredura realizaram controle automático e semiautomático por computadores eletrônicos, a velocidade da análise quantitativa foi bastante melhorada.