Quantos nanômetros um microscópio confocal pode ver?
O objetivo da ciência dos materiais é estudar a influência da estrutura superficial de um material em suas propriedades superficiais. Portanto, analisar a topografia da superfície em alta resolução é importante para determinar parâmetros relacionados à rugosidade da superfície, propriedades reflexivas, propriedades tribológicas e qualidade da superfície. As técnicas confocal são capazes de medir materiais com uma variedade de propriedades reflexivas de superfície e obter dados de medição eficazes.
O microscópio confocal a laser, baseado no princípio da tecnologia confocal, é um instrumento de inspeção para medições em escala micro e nano nas superfícies de vários dispositivos e materiais de precisão. A alta resolução de medição atinge 0,5 nm.
Formulários
1.MEMS
Medição dimensional de componentes micron e submicron, observação da morfologia da superfície após vários processos (revelação, ataque químico, metalização, CVD, PVD, CMP, etc.), análise de defeitos.
2. Componentes mecânicos de precisão, dispositivos eletrônicos
Medição dimensional de componentes mícron e submícron, observação da morfologia da superfície após vários processos de tratamento de superfície, processos de soldagem, análise de defeitos, análise de partículas.
3.Semicondutor/LCD
Observação da topografia da superfície após vários processos (revelação, ataque químico, metalização, CVD, PVD, CMP, etc.), análise de defeitos Medição de larguras de linhas sem contato, profundidades de degraus, etc.
4. Tribologia, corrosão e outras engenharias de superfície
Medição de volume de marcas de abrasão, medição de rugosidade, topografia de superfície, corrosão e topografia de superfície após engenharia de superfície submícron.
Especificação técnica
Modelo: VT6100
Faixa de curso: 100*100*100mm
Faixa de campo de visão: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Repetibilidade da medição de altura (1σ): 12nm
Precisão da medição de altura: ± (0.2+L/100) μm
Resolução de medição de altura: 0,5 nm
Repetibilidade de medição de largura (1σ): 40nm
Precisão de medição de largura: ± 2%
Resolução de medição de largura: 1nm
