Aplicações de microscópios confocal na indústria de semicondutores
No processo de produção de semicondutores em grande-escala, é necessário depositar chips de circuito integrado no wafer, depois dividi-los em várias unidades e, finalmente, empacotá-los e soldá-los. Portanto, o controle e a medição precisos do tamanho da ranhura de corte do wafer são um elo crucial no processo de produção.
O microscópio confocal é um dispositivo de detecção microscópica lançado pela Zhongtu Instrument, amplamente utilizado na fabricação de semicondutores e processos de embalagem. Ele pode realizar varredura sem-contato e reconstruir a morfologia-tridimensional de características de superfície com formas complexas e ranhuras íngremes de corte a laser.
O microscópio confocal possui excelente resolução óptica e, por meio de um sistema de imagem claro, pode observar detalhadamente as características da superfície do wafer, como se há defeitos como quebra de borda e arranhões na superfície do wafer. A torre elétrica pode alternar automaticamente entre diferentes ampliações de objetiva, e o software captura automaticamente as bordas dos recursos para uma rápida medição bi-dimensional do tamanho, detectando e controlando a qualidade da superfície do wafer com mais eficiência.
No processo de corte a laser de wafers, é necessário um posicionamento preciso para garantir que as ranhuras possam ser cortadas ao longo do contorno correto do wafer. A qualidade da segmentação do wafer é geralmente medida pela profundidade e largura das ranhuras de corte. O microscópio confocal da série VT6000, baseado em tecnologia confocal e equipado com módulos de varredura de alta-velocidade, possui software de análise profissional com funções de medição automática e multiárea. Ele pode reconstruir rapidamente o contorno-tridimensional da ranhura do laser do wafer testado e realizar análises de múltiplos perfis para obter informações de profundidade e largura do canal da seção-cruzada.
